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东莞市和川机械设备科技有限公司是中国较早从事冷光源曝光机研发制造的企业之一，是专注于冷光源精密曝光机系统的现代化企业。LED晶粒基板主要是作为LED 晶粒与系统电路板之间热能导出的媒介，藉由打线、共晶或覆晶的制程与LED 晶粒结合。而基于散热考量，市面上LED晶粒基板主要以陶瓷基板为主，合川机械，以线路备制方法不同约略可区分为：厚膜陶瓷基板、低温共烧多层陶瓷、以及薄膜陶瓷基板三种。

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等离子刻蚀机的原理是在真空状态下，利用射频辐射使得氧、ya、氮、四氟化碳等气体生成具有高反应活性的离子与器件等反应形成挥发性化合物，合川机械设备，然后由真空系统奖这些挥发性物质清除出去。

等离子刻蚀机检验操作及判断

1.确认万用表工作正常，量程置于200mV。

2.冷探针连接电压表的正电极，热探针与电压表的负极相连。

东莞市和川机械设备科技有限公司是中国较早从事冷光源曝光机研发制造的企业之一，是专注于冷光源精密曝光机系统的现代化企业。结合双重曝光技术后，未来还可用于制造10纳米级别的芯片。” 今年，中芯国际斥资1.2亿美元购买了一台EUV极紫外光刻机，目的是未来可以生产7nm工艺芯片。与此同时，合川机械厂，长江存储同样从荷兰ASML（阿斯麦）购买了一台机器，合川机械生产厂家，不同是的是193nm沉浸式，能用于生产20-14nm工艺的3D NAND闪存晶圆，售价7200万美元一台。这些动辄几千万上亿美元的数字说明了什么？这说明了国产光刻机未来市场前景十分广阔！都是钱呐！

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