曝光灯在使用之前，需要使用无尘纸或者无尘布使用少量的有机溶液擦拭干净。

曝光灯在使用前要用测漏仪测试灯管是否有出现有损坏。

灯在使用时连接线要拧紧，防止大电流将连接导线烧断。

曝光灯在运输时应该避免震荡。阳极头需要朝下，包装也要保证曝光灯不会再运输过程中损坏。

曝光灯在储存时应该水平放置或者垂直放置，禁止震动。

1.确认万用表工作正常，量程置于200mV。

2.冷探针连接电压表的正电极，热探针与电压表的负极相连。

3.用冷、热探针接触硅片一个边沿不相连的两个点，电压表显示这两点间的电压为正值，说明导电类型为P型，刻蚀合格。相同的方法检测另外三个边沿的导电类型是否为P型。

4.如果经过检验，任何一个边沿没有刻蚀合格，则这一批硅片需要重新装片，进行刻蚀。